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特氣輸送面板是氣源部分非常重要的控制單元。一般工藝氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過高壓控制盤面時，都實現(xiàn)了一次調(diào)壓、過濾、流量穩(wěn)定、吹掃、抽真空、壓力偵測等功能。不同的氣體和工藝需求，可以根據(jù)實際情況定制具體功能?，F(xiàn)階段，越來越多的高校實驗室引入了ICP、PVD、PEVCD等設備進行芯片鍍膜、刻蝕方面的研究，這些工藝氣體多是硅烷、乙烯、溴化氫等毒腐、易燃易爆性氣體，對于氣源的控制要求非常高，也給供氣面板提出了很多要求。

設計參考：

自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有緊急關(guān)斷閥門，并應為常閉氣動閥門，位置應靠近氣瓶；

氣瓶壓力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面 板應設有過流開關(guān)；

自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應設有惰性氣體吹掃、輔助抽真空裝置，真空管路應設止回閥；

氣體面板應設置工藝氣體排氣口。

可燃性特氣柜設計參考：

硅烷氣瓶柜的排風換氣次數(shù)不得低于1200次/H，且氣柜的負壓應連續(xù)監(jiān)控；自燃性特種氣體的氣瓶柜應設置紫外、紅外火焰探測器；可燃性特種氣體的氣瓶柜應設置誰噴淋系統(tǒng)；自燃性特種氣體的氣柜應在氣瓶之間設置隔離鋼板。

輸送控制面板的設計對于整個供氣系統(tǒng)的便捷性、生命安全都起到非常重要的控制作用，在設計初期，業(yè)主需要將工藝、要求等提供給設計院作為設計依據(jù)，同時，在建設周期，有必要參考相應的規(guī)范將要求落實到施工當中去。

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